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產品介紹
產品介紹
Dione 300/Dione 300 eX是拓荊科技自主研發的晶圓混合鍵合和熔融鍵合設備。應用於存儲器、邏輯芯片、背照式圖像傳感器芯片、三維集成芯片、Micro LED的生產，該設備擁有等離子活化、清洗、鍵合和量測等單元，所有性能指標均已達到國際同類產品水平。
產品特點
- 12英寸/8英寸晶圓適配
- 室溫等離子活化鍵合
- 超精密光學對準系統
- 可配置鍵合波自動控制系統
- 百納米級鍵合後Overlay
- 無鍵合氣泡
- 高精度在線量測能力
