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Propus
Bonding 設備

產品介紹

Propus是拓荊鍵科自主研發用於芯片對晶圓混合鍵合場景下的表面預處理設備,常用於芯片對晶圓產線,具有內置的等離子活化腔室和清洗腔室。拓荊的Propus是國內該領域同類型產品中最早用於量產的設備。


 
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