-
產品介紹
產品介紹
產品介紹：PF-300T Bianca 系列是拓荊自主研發的晶圓背部薄膜沈積設備（Backside Deposition）。可以在晶圓背面沈積SiN、SiO 等介質薄膜材料，通過應力調節實現對晶圓翹曲的糾正以及晶圓背面的保護。該設備可以實現在不使用翻片工藝、不使用去邊工藝的情況下對晶圓背面進行薄膜沈積，減少集成電路制造的工藝步驟、提升產品良率、降低客戶成本。
產品特點
- 可兼容低溫和高溫工藝，高溫可達550℃
- 高應力調節範圍實現精準晶圓翹曲曲率控制
- 具備應力分區調節功能，可靈活調節不同晶圓翹曲形態
- 具有良好的顆粒度和均勻性
- 薄膜去邊寬度可定制化
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
