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產品介紹
產品介紹
PF-300M為拓荊自主研發的串聯高產能平臺。PF-300M 系列產品可搭載 5 個反應腔，滿足客戶對不同工藝和膜厚的高效需求。該平臺兼容PECVD高端產品pX、Supra-D，以及PEALD Astra反應腔。PF-300M Supra-D 系列產品是面向先進制程的新壹代高端產品，采用全新的獨立腔室設計，以優異的薄膜穩定性、均勻性、顆粒度表現實現更嚴格的工藝指標要求。
產品特點
- 串聯的高產能平臺
- 可搭配多個反應腔，實現產能的優化配置
- 顆粒度表現優異
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
