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產品介紹
產品介紹
Dione 300F/Dione 300F eX是拓荊鍵科自主研發的晶圓對晶圓熔融鍵合設備產品，該設備可高效實現非電氣連接的晶圓間鍵合，將兩個平整的晶圓自然連接鍵合，其特點是晶圓在清洗後進行親水性加工，在室溫下相互接觸並鍵合。晶圓對晶圓熔融鍵合產品Dione 300F/Dione 300F eX，可用於載片晶圓和器件晶圓低應力熔融鍵合，具備優異的產能表現。
- 12英寸/8英寸晶圓適配
- 室溫等離子活化鍵合
- 邊緣和V型槽對準方式
- 可配置鍵合波自動控制系統
- 納米級晶背Overlay誤差
- 無鍵合氣泡
- 高產能和低CoO
